ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術

著者

• 河西, 敏雄 カワニシ, トシオ
• 土肥, 俊郎 ドヒ, トシロウ

書誌事項

ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術

河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集

グローバルネット, 1995.5

タイトル読み

ULSI グローバル ・ プラナリゼーション ノ タメ ノ チョウセイミツ キカイテキ ヘイタンカ ギジュツ

注記

執筆者:前田和夫ほか

各章末:参考文献

• NII書誌ID(NCID): BN13496334
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 298p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7