マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価

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マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価

研究代表者吉田明

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成6年度）

吉田明, 1995.3

Other Title

平成6年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

Title Transcription

マイクロハ リモート プラズマ ニ ヨル アタラシイ チッカブツ ハンドウタイ タンケッショウ ト ヒョウカ

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研究課題番号: 05452191

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Details

  • NCID
    BN1381583X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    39p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Parent Bibliography ID
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