マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価

著者

• 吉田, 明 ヨシダ, アキラ

書誌事項

マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価

研究代表者吉田明

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成6年度）

吉田明, 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

タイトル読み

マイクロハ リモート プラズマ ニ ヨル アタラシイ チッカブツ ハンドウタイ タンケッショウ ト ヒョウカ

注記

研究課題番号: 05452191

• NII書誌ID(NCID): BN1381583X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [豊橋]
• ページ数/冊数: 39p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.9
• 親書誌ID:
  • BN0345591X