電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立
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電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立
(科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成4年度)
立命館大学, 1994.3
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デンシ デバイスヨウ チョウハクマク ノ ダンセイ テイスウ ヒョウカホウ ノ カクリツ
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注記
参考文献: p38