ラッピングにおける砥粒運動の可視化と加工機構の評価
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ラッピングにおける砥粒運動の可視化と加工機構の評価
[杉田忠彰], 1996.3
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ラッピング ニ オケル トリュウ ウンドウ ノ カシカ ト カコウ キコウ ノ ヒョウカ
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平成7年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書