異周波のハイブリッド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
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異周波のハイブリッド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
[作田忠裕], 1996.3
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イシュウハ ノ ハイブリッド ケツゴウ ニヨル ダイヨウリョウ ダイコウケイ ユウドウ ネツ プラズマ ノ ハッセイ
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平成7年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書