半導体工場環境清浄化総合技術資料集

Author(s)

• 小野, 員正 オノ, カズマサ

Bibliographic Information

半導体工場環境清浄化総合技術資料集

小野員正編

（環境技術シリーズ）

サイエンスフォーラム, 1980.12

Title Transcription

ハンドウタイ コウジョウ カンキョウ セイジョウカ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ

Note

各章末:参考文献

Details

• NCID: BN14485934
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 410p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
  • NDLC : M281
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 工程管理
• Parent Bibliography ID:
  • BN14486030