半導体工場環境清浄化総合技術資料集

著者

• 小野, 員正 オノ, カズマサ

書誌事項

半導体工場環境清浄化総合技術資料集

小野員正編

（環境技術シリーズ）

サイエンスフォーラム, 1980.12

タイトル読み

ハンドウタイ コウジョウ カンキョウ セイジョウカ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ

注記

各章末:参考文献

• NII書誌ID(NCID): BN14485934
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 410p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
  • NDLC : M281
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 工程管理
• 親書誌ID:
  • BN14486030