Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

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Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

栗林勝利研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成7年度）

[山口大学工学部], 1996.3

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Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

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SI ウエハジョウ カギャク ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ テイオン ケイジョウ キオク ネツショリ ノ ケンキュウ

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課題番号:06452230

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Details

  • NCID
    BN14721130
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [宇部]
  • Pages/Volumes
    78枚
  • Size
    29cm
  • Parent Bibliography ID
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