マイクロマシン要素のアセンブリ装置の開発

著者

• 須賀, 唯知 スガ, タダトモ
• 佐々木, 元 ササキ, ゲン

書誌事項

マイクロマシン要素のアセンブリ装置の開発

研究代表者須賀唯知

須賀唯知, 1995.3

タイトル読み

マイクロ マシン ヨウソ ノ アセンブリ ソウチ ノ カイハツ

注記

平成5・6年度科学研究費補助金(試験研究B(1))研究成果報告書

研究分担者:佐々木元,沢田廉士

• NII書誌ID(NCID): BN14899981
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 101p
• 大きさ: 30cm