半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

Author(s)

• 山岡, 亜夫 ヤマオカ, ツグオ

Bibliographic Information

半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

山岡亜夫監修

リアライズ社, 1996.7

Title Transcription

ハンドウタイ シュウセキ カイロ ヨウ レジスト ザイリョウ ハンドブック

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• 半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

  1996

  NDL Digital Collections

  Limited

Details

• NCID: BN1495341X
• ISBN:
  • 4947655895
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 6, 293, 9p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路