半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

著者

• 山岡, 亜夫 ヤマオカ, ツグオ

書誌事項

半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

山岡亜夫監修

リアライズ社, 1996.7

タイトル読み

ハンドウタイ シュウセキ カイロ ヨウ レジスト ザイリョウ ハンドブック

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN1495341X
• ISBN:
  • 4947655895
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 293, 9p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路