シリコン・マイクロアームの運動と制御に関する研究

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シリコン・マイクロアームの運動と制御に関する研究

研究代表者下山勲

下山勲, 1994.3

Title Transcription

シリコン マイクロアーム ノ ウンドウ ト セイギョ ニカンスル ケンキュウ

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Note

平成4年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

Details

  • NCID
    BN14999501
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    98p
  • Size
    30cm
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