ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス
著者
書誌事項
ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス
小宮山宏, 1996
- タイトル読み
-
ナノ コウゾウ ノ セイギョ サレタ コウユウデンタイ ハクマク ノ CVD プロセス
大学図書館所蔵 件 / 全2件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
平成6-7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, 課題番号(06555232)
研究分担者: 小池淳義[ほか]