ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス

書誌事項

ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス

研究代表者, 小宮山宏

小宮山宏, 1996

タイトル読み

ナノ コウゾウ ノ セイギョ サレタ コウユウデンタイ ハクマク ノ CVD プロセス

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注記

平成6-7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, 課題番号(06555232)

研究分担者: 小池淳義[ほか]

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN15118983
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    32p
  • 大きさ
    26cm
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