フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える

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フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える

田辺功, 竹花洋一, 法元盛久共著

工業調査会, 1996.8

タイトル別名

超LSI、液晶、プリント板を支えるフォトマスク技術のはなし

タイトル読み

フォトマスク ギジュツ ノ ハナシ : チョウLSI エキショウ プリントバン オ ササエル

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注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

本書はフォトマスクの全般について解説したものである。単にフォトマスクを紹介することに留まらず、ＬＳＩマスクを代表にしたマスク技術の変遷、次世代のマスクおよび今後の展望にも言及した。

目次

  • 第１章　フォトマスクとは
  • 第２章　フォトマスク製造の基本技術
  • 第３章　ＬＳＩ用フォトマスクの実際
  • 第４章　ＬＣＤ用フォトマスクの実際
  • 第５章　ＰＷＢ用フォトマスクの実際
  • 第６章　クリーン化技術
  • 第７章　次世代マスクの技術展望
  • 第８章　今後の展望

「BOOKデータベース」 より

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