マイクロマシン用高分解能光造形システムの試作

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マイクロマシン用高分解能光造形システムの試作

研究代表者, 中島尚正

中島尚正, 1996

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マイクロマシンヨウ コウブンカイノウ ヒカリ ゾウケイ システム ノ シサク

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Note

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書, 課題番号(05555038)

研究分担者: 村上存[ほか]

Details

  • NCID
    BN15136497
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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