極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究
著者
書誌事項
極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究
[出版者不明], 1995.3
- タイトル別名
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平成5年度, 6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書
極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究
- タイトル読み
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キョク ビショウ デンシセン プローブ オ モチイタ ウモレタ キンゾク ハンドウタイ カイメン ノ コウゾウ ト ブッセイ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号:05452102