極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究

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極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究

田中信夫[ほか著]

[出版者不明], 1995.3

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平成5年度, 6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究

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キョク ビショウ デンシセン プローブ オ モチイタ ウモレタ キンゾク ハンドウタイ カイメン ノ コウゾウ ト ブッセイ ノ ケンキュウ

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課題番号:05452102

Details

  • NCID
    BN15148882
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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