極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究

著者

• 田中, 信夫 タナカ, ノブオ

書誌事項

極微小電子線プローブを用いた'埋もれた'金属/半導体界面の構造と物性の研究

田中信夫[ほか著]

[出版者不明], 1995.3

タイトル別名

平成5年度, 6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究

タイトル読み

キョク ビショウ デンシセン プローブ オ モチイタ ウモレタ キンゾク ハンドウタイ カイメン ノ コウゾウ ト ブッセイ ノ ケンキュウ

注記

課題番号:05452102

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15148882
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm