反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーディング

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反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーディング

森敏彦[ほか著]

[出版者不明], 1995.3

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平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書

Title Transcription

ハンノウセイ コウシュウハ マグネトロンスパッタリング ニ ヨル キノウセイ コーティング

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Note

課題番号:05555043

Details

  • NCID
    BN15246542
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    106p
  • Size
    30cm
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