反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーディング

著者

• 森, 敏彦 モリ, トシヒコ

書誌事項

反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーディング

森敏彦[ほか著]

[出版者不明], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書

タイトル読み

ハンノウセイ コウシュウハ マグネトロンスパッタリング ニ ヨル キノウセイ コーティング

注記

課題番号:05555043

• NII書誌ID(NCID): BN15246542
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 106p
• 大きさ: 30cm