表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発

Author(s)

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

Bibliographic Information

表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発

菅井秀郎[ほか著]

[出版者不明], 1995.3

Other Title

平成4-6年度科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書

Title Transcription

ヒョウメン ジバ オ モチイル ダイコウケイ RFプラズマ ノ カイハツ

Note

研究課題番号:04558002

Details

• NCID: BN15247159
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 54p
• Size: 30cm