マイクロアクチュエータ用形状記憶合金薄膜に関する基礎的研究
著者
書誌事項
マイクロアクチュエータ用形状記憶合金薄膜に関する基礎的研究
[宮崎修一], 1995.12
- タイトル別名
-
科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : 平成6年度
- タイトル読み
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マイクロ アクチュエータヨウ ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
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注記
英文併載
課題番号: 05452272