マイクロアクチュエータ用形状記憶合金薄膜に関する基礎的研究

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マイクロアクチュエータ用形状記憶合金薄膜に関する基礎的研究

宮崎修一研究代表者

[宮崎修一], 1995.12

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科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : 平成6年度

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マイクロ アクチュエータヨウ ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ニ カンスル キソテキ ケンキュウ

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英文併載

課題番号: 05452272

Details

  • NCID
    BN15269912
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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