マイクロマシン応用光ビーム操作装置の試作

書誌事項

マイクロマシン応用光ビーム操作装置の試作

研究代表者, 藤田博之

藤田博之, 1996

タイトル読み

マイクロ マシン オウヨウ ヒカリ ビーム ソウサ ソウチ ノ シサク

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注記

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書, 課題番号: 06555018

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN15275675
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    42p
  • 大きさ
    30cm
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