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液晶ディスプレイ製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1996.10

タイトル読み

エキショウ ディスプレイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

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内容説明・目次

目次

  • 第1章 工程フローと基礎および装置用語の構成
  • 第2章 アレイマスク製造工程用語
  • 第3章 アレイ製造工程用語
  • 第4章 カラーフィルタ製造工程用語
  • 第5章 パネル(セル)製造工程用語
  • 第6章 モジュール製造工程用語
  • 第7章 検査工程用語
  • 第8章 設備・環境工程用語

「BOOKデータベース」 より

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