実用ドライエッチング技術

Author(s)

• 菅原, 実 スガワラ, ミノル

Bibliographic Information

実用ドライエッチング技術

菅原実[編]

リアライズ社, 1992.7

Title Transcription

ジツヨウ ドライ エッチング ギジュツ

Note

各章末:参考文献

Details

• NCID: BN1538695X
• ISBN:
  • 4947655542
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 208p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体