MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
著者
書誌事項
MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
[塩嵜忠], 1996.3
- タイトル別名
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平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書(06555094)
- タイトル読み
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MOCVD ホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイメンセキ セイチョウ ト メモリ デバイス エノ ジツヨウカ ケンキュウ