MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

塩嵜忠研究代表

[塩嵜忠], 1996.3

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平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書(06555094)

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MOCVD ホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイメンセキ セイチョウ ト メモリ デバイス エノ ジツヨウカ ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BN1555743X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    60p
  • Size
    30cm
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