MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
[塩嵜忠], 1996.3
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平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書(06555094)
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MOCVD ホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイメンセキ セイチョウ ト メモリ デバイス エノ ジツヨウカ ケンキュウ
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