微小重力下で成長させた半導体結晶の結晶性と局所不純物偏析の評価

書誌事項

微小重力下で成長させた半導体結晶の結晶性と局所不純物偏析の評価

研究代表者 西永頌

西永頌, 1996.3

タイトル読み

ビショウ ジュウリョクカ デ セイチョウ サセタ ハンドウタイ ケッショウ ノ ケッショウセイ ト キョクショ フジュンブツ ヘンセキ ノ ヒョウカ

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注記

平成7年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN15608064
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    16枚
  • 大きさ
    30cm
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