シリコン単結晶および酸化膜のマイクロトライボロジー特性

著者

• 加藤, 孝久 カトウ, タカヒサ

書誌事項

シリコン単結晶および酸化膜のマイクロトライボロジー特性

研究代表者 加藤孝久

加藤孝久, 1996.3

タイトル読み

シリコン タンケッショウ オヨビ サンカマク ノ マイクロトライボロジー トクセイ

注記

平成7年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15610907
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm