微細形状を有する基板に接したプラズマのミクロ構造の解析

著者

• 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ

書誌事項

微細形状を有する基板に接したプラズマのミクロ構造の解析

橘邦英研究代表

[橘邦英], 1996.3

タイトル別名

平成7年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(研究課題番号06452422)

タイトル読み

ビサイ ケイジョウ オ ユウスル キバン ニ セッシタ プラズマ ノ ミクロ コウゾウ ノ カイセキ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15626372
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 75p
• 大きさ: 30cm