ULSI製造装置実用便覧

著者

• 菅原, 活郎 スガワラ, カツロウ
• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

ULSI製造装置実用便覧

菅原活郎、前田和夫編

サイエンスフォーラム, 1991.11

タイトル読み

ULSI セイゾウ ソウチ ジツヨウ ベンラン

注記

各章末:文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15668066
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 517p
• 大きさ: 31cm