プラズマ処理後の洗浄とウェハ裏面洗浄仕様

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書誌事項

プラズマ処理後の洗浄とウェハ裏面洗浄仕様

ULSI生産技術緊急レポート編集委員会編

（ULSI生産技術緊急レポート, no.2）

サイエンスフォーラム, 1994.8

タイトル読み

プラズマ ショリゴ ノ センジョウ ト ウェハ リメン センジョウ シヨウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15669411
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 101p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN14105556