超高純度ガスの科学

Author(s)

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

Bibliographic Information

超高純度ガスの科学

UCS半導体基盤技術研究会編

（Surface science technology series, 2）

リアライズ社, 1993

• 第1分冊(コンセプト編)
• 第2分冊(データ編)

Title Transcription

チョウ コウジュンド ガス ノ カガク

Access to Electronic Resource 2 items

• 超高純度ガスの科学 (第1分冊(コンセプト編))

  1993

  NDL Digital Collections

  Limited

• 超高純度ガスの科学 (第2分冊(データ編))

  1994

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

各章末:references

Details

• NCID: BN15744856
• ISBN:
  • 494765564X
  • 4947655674
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 冊
• Size: 27 cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : ガス
• Parent Bibliography ID:
  • BN14827776