超高純度ガスの科学

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

書誌事項

超高純度ガスの科学

UCS半導体基盤技術研究会編

（Surface science technology series, 2）

リアライズ社, 1993

• 第1分冊(コンセプト編)
• 第2分冊(データ編)

タイトル読み

チョウ コウジュンド ガス ノ カガク

注記

各章末:references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15744856
• ISBN:
  • 494765564X
  • 4947655674
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 冊
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : ガス
• 親書誌ID:
  • BN14827776