二重SOI構造による高温度用加速度センサ

著者

• 石田, 誠 イシダ, マコト
• 松本, 佳宣 マツモト, ヨシノリ
• 桜井, 止水城 サクライ, シズキ

書誌事項

二重SOI構造による高温度用加速度センサ

研究代表者 石田誠

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）

石田誠, 1996.3

タイトル別名

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ

注記

研究課題番号: 06555102

研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城

• NII書誌ID(NCID): BN15760681
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [豊橋]
• ページ数/冊数: 8, [97]p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
• 親書誌ID:
  • BN09452958