二重SOI構造による高温度用加速度センサ

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二重SOI構造による高温度用加速度センサ

研究代表者 石田誠

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）

石田誠, 1996.3

Other Title

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ

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Note

研究課題番号: 06555102

研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城

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Details

  • NCID
    BN15760681
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    8, [97]p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Parent Bibliography ID
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