半導体の化学

Author(s)

• 逢坂, 哲彌 オオサカ, テツヤ
• 山崎, 陽太郎 ヤマザキ, ヨウタロウ
• 奥戸, 雄二 オクト, ユウジ

Bibliographic Information

半導体の化学

逢坂哲彌 [ほか] 著

（先端材料のための新化学 / 日本化学会編集, 9）

朝倉書店, 1996.12

Title Transcription

ハンドウタイ ノ カガク

Note

ほかの著者: 山崎陽太郎, 奥戸雄二

Description and Table of Contents

Description

本書は、半導体材料および関連材料を基礎からプロセスまで、さらには最近注目されているトピックス的な内容をも含めてまとめあげたものである。

Table of Contents

• １　半導体の基礎（結晶；半導体とは；半導体のなかの電子と正孔　ほか）
• ２　半導体デバイスとその特性（ダイオード；バイポーラトランジスタ；電界効果トランジスタ　ほか）
• ３　半導体集積回路プロセス技術（ＳｉＬＳＩのできるまで（ＣＭＯＳＬＳＩの製作工程）；各種個別技術；フォトレジストとリソグラフィ　ほか）
• ４　半導体材料における最近の話題（高精度エッチング用プラズマ技術の進展；高密度回路実装技術（ＭＣＭを中心として）；強誘電体薄膜材料と半導体メモリへの応用　ほか）

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Details

• NCID: BN15825357
• ISBN:
  • 4254255691
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 186p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.8
  • NDC8 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BN15825776