半導体の化学
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半導体の化学
(先端材料のための新化学 / 日本化学会編集, 9)
朝倉書店, 1996.12
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ハンドウタイ ノ カガク
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National Institutes of Natural Sciences Okazaki Library and Information Center図
549.8/Ha9990082111
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ほかの著者: 山崎陽太郎, 奥戸雄二
Description and Table of Contents
Description
本書は、半導体材料および関連材料を基礎からプロセスまで、さらには最近注目されているトピックス的な内容をも含めてまとめあげたものである。
Table of Contents
- 1 半導体の基礎(結晶;半導体とは;半導体のなかの電子と正孔 ほか)
- 2 半導体デバイスとその特性(ダイオード;バイポーラトランジスタ;電界効果トランジスタ ほか)
- 3 半導体集積回路プロセス技術(SiLSIのできるまで(CMOSLSIの製作工程);各種個別技術;フォトレジストとリソグラフィ ほか)
- 4 半導体材料における最近の話題(高精度エッチング用プラズマ技術の進展;高密度回路実装技術(MCMを中心として);強誘電体薄膜材料と半導体メモリへの応用 ほか)
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