半導体の化学

著者

• 逢坂, 哲彌 オオサカ, テツヤ
• 山崎, 陽太郎 ヤマザキ, ヨウタロウ
• 奥戸, 雄二 オクト, ユウジ

書誌事項

半導体の化学

逢坂哲彌 [ほか] 著

（先端材料のための新化学 / 日本化学会編集, 9）

朝倉書店, 1996.12

タイトル読み

ハンドウタイ ノ カガク

注記

ほかの著者: 山崎陽太郎, 奥戸雄二

内容説明・目次

内容説明

本書は、半導体材料および関連材料を基礎からプロセスまで、さらには最近注目されているトピックス的な内容をも含めてまとめあげたものである。

目次

• １　半導体の基礎（結晶；半導体とは；半導体のなかの電子と正孔　ほか）
• ２　半導体デバイスとその特性（ダイオード；バイポーラトランジスタ；電界効果トランジスタ　ほか）
• ３　半導体集積回路プロセス技術（ＳｉＬＳＩのできるまで（ＣＭＯＳＬＳＩの製作工程）；各種個別技術；フォトレジストとリソグラフィ　ほか）
• ４　半導体材料における最近の話題（高精度エッチング用プラズマ技術の進展；高密度回路実装技術（ＭＣＭを中心として）；強誘電体薄膜材料と半導体メモリへの応用　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15825357
• ISBN:
  • 4254255691
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 186p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN15825776