超微細加工技術

著者

• 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ
• 徳山, 巍 トクヤマ, タカシ

書誌事項

超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著

（応用物理学シリーズ / 応用物理学会編, 専門コース||センモン コース）

オーム社, 1997.2

タイトル読み

チョウビサイ カコウ ギジュツ

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• 超微細加工技術

  1997

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: 各章末

索引: p[305]-309

執筆: 徳山巍ほか

内容説明・目次

内容説明

各種技術を幅広く網羅！今後の応用・将来動向までを考察する。

目次

• 光リソグラフィ技術
• 電子線リソグラフィ技術
• イオンビームリソグラフィ技術
• Ｘ線リソグラフィ技術
• レジスト材料
• エッチング技術
• 形状シミュレーション技術
• 超微細加工技術の応用

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN15970232
• ISBN:
  • 427402332X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiv, 309p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.7
  • NDC8 : 573.5
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : PA241
• 件名:
  • NDLSH : ガラス
  • NDLSH : ガラス製品
  • BSH : 半導体
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN03224101