森 圭子 MORI Keiko

ID:1000030175632

島根大学総合理工学部 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University (2004年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-2 of 2

  • The formation of the macropore and the needle crystal by the anodic reaction of p-type silicon  [in Japanese]

    MITARAI Yuko , HARADA Hiroshi , ISHIMARU Hiroyuki , MATSUMOTO Shin , MORI Keiko

    フッ化水素の水溶旅中でp型シリコンに陽極化成を施すことにより,マクロポア及び針状結晶の形成が可能である.マクロボアの形成メカニズムは電気化学反応モデルで説明できる.針状結晶は,マクロボアの側壁が消滅し,マクロボアによって囲まれた支柱部が残ることにより形成される.また,マクロボアのピッチはシリコンの比抵抗に依存することを示す.陽極化成により形成したマクロポアから作製した微小電極は8V/μm以上で電界 …

    Technical report of IEICE. SDM 104(510), 19-24, 2004-12-16

    References (10)

  • The formation of the macropore and the needle crystal by the anodic reaction of p-type silicon  [in Japanese]

    原田 曠嗣 , 御手洗 夕子 , 石丸 寛之 , 松本 晋 , 森 圭子

    島根大学総合理工学部紀要. シリーズA (38), 53-65, 2004-12-15

    IR 

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