奥山 雅則 OKUYAMA Masanori

ID:1000060029569

大阪大 Osaka University (2015年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-20 of 137

  • 1P1-V05 Characterization of Surface Texture Depending on Hardness, Thickness, and Roughness Using MEMS Tactile Sensor  [in Japanese]

    TAKAHASHI Kenta , ABE Takashi , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo , SOHGAWA Masayuki

    In this paper, we report the texture quantitative measurement using the miniature multi-axial tactile sensor with microcantilevers which are fabricated by MEMS technology and embedded in the elastomer …

    The Proceedings of JSME annual Conference on Robotics and Mechatronics (Robomec) 2015(0), _1P1-V05_1-_1P1-V05_2, 2015

    J-STAGE 

  • Research of Difference Between Human Tactile Sense and Artificial MEMS Tactile Sensor  [in Japanese]

    WAKAO Asuka , WATANABE Kosuke , SOGAWA Masayuki , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo

    人間は表皮に作用する微小な機械的刺激を検知し、物体表面の凹凸、摩擦、熱、弾性などの質感の違いを認識することが可能である。我々の開発した小型多軸触覚センサは複数の斜傾マイクロカンチレバーがPDMSに埋め込まれた構造をしており、一素子で、対象表面の微少構造に応じて生じる垂直力と剪断力の検知が可能である。本研究では小型多軸触覚センサに接触させて水平方向に滑らせるアクティブタッチ計測結果と人間の触覚による …

    Technical report of IEICE. Multimedia and virtual environment 114(114), 41-45, 2014-07-01

  • 1P2-X09 Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light- and Strain-sensitive Multifunctional MEMS Sensor(Tactile and Force Sensing (2))  [in Japanese]

    NOZAWA Akito , YOKOYAMA Hokuto , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , ABE Takashi , NOMA Haruo , AZUMA Teruaki , SOHGAWA Masayuki

    A multifunctional MEMS sensor for measurement of proximity and touch of an object has been fabricated and characterized. The DC resistance changes linearly to indentation distance of the object. On th …

    The Proceedings of JSME annual Conference on Robotics and Mechatronics (Robomec) 2014(0), _1P2-X09_1-_1P2-X09_4, 2014

    J-STAGE 

  • Review of Texture Measurement of Object Surface by Tactile Sensor with Inclined Micro-cantilevers  [in Japanese]

    SOHGAWA Masayuki , WATANABE Kosuke , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo , AZUMA Teruaki

    A measurement method of surface texture of objects using active touching of a tactile sensor which has inclined micro-cantilevers with strain gauge film on Si has been reviewed. The fabricated tactile …

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 133(5), 147-154, 2013-05-01

    J-STAGE  References (37)

  • Multi-axial Tactile Sensor for Dynamic Measurement of the Surface Texture with Hemisphere and Cylindrical Elastomer  [in Japanese]

    SOHGAWA Masayuki , UEMATSU Tatsuya , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2012(8), 1-6, 2012-06-11

    References (14)

  • High Resolution Tactile Sensor with Microcantilevers by Redusing TCR of NiCr-Gauge-Thin-Film  [in Japanese]

    MORIGUCHI Y. , HIRASHIMA D. , UEMATSU T. , SOHGAWA M. , KANASHIMA T. , OKUYAMA M. , NOMA H.

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2011(19), 15-19, 2011-06-30

    References (7)

  • Confirmation of Gripping Status Classification using an Array of Micro Cantilever Type Tactile Sensor  [in Japanese]

    MITO Wataru , MIMA Tatuya , YAMAZOE Hirotake , YOSHIDA Shunsuke , TADA Masahiro , SOHGAWA Masayuki , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo

    計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 47(1), 40-42, 2011-01-31

    References (3) Cited by (2)

  • 2A2-O12 Rotational Slippage Detection Using Micro Cantilever Type Tactile Sensor Array(Tactile and Force Sensing (1))  [in Japanese]

    MITO Wataru , UEMATSU Tatsuya , YAMAZOE Hirotake , TADA Masahiro , SOHGAWA Masayuki , KANESHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo

    We propose rotational slippage detection method using our proposed MEMS based tactile sensor. The sensor consists of small element which has three inclined micro cantilevers embedded in elastomer, and …

    The Proceedings of JSME annual Conference on Robotics and Mechatronics (Robomec) 2011(0), _2A2-O12_1-_2A2-O12_3, 2011

    J-STAGE 

  • Electro-Mechanical Characterization of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer for air-use

    CHA Bu-Sang , LEE Seung-Mok , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori

    電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2010(1), 107-111, 2010-06-17

    References (6)

  • Fabrication and Basic Characteristics of Multiaxial Tactile Sensor with 3 Cantilevers  [in Japanese]

    TACHIBANA Hiroto , KAMANARU Shiro , MIMA Tatsuya , SOHGAWA Masayuki , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori , YAMASHITA Kaoru , NODA Minoru , NOMA Haruo , HIGUCHI Masayoshi

    Tactile array sensors with three inclined micro-cantilevers embedded in elastomer, which can detect both normal and shear forces, have been designed and fabricated. The inclined cantilevers consist of …

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 130(6), 223-229, 2010-06-01

    J-STAGE  References (7) Cited by (3)

  • Acoustic damping effect on capacitive micromachined ultrasonic transducer

    LEE Seung-Mok , CHA Bu-Sang , OKUYAMA Masanori

    静電型超音波トランスデューサ(CMUT)の変換効率はメンブレンの振動における媒質の機械的抵抗(インピーダンス)の影響を受ける。本研究では、空気中で動作するCMUTデバイスのダンピング効果を有限要素解析法を用いてシミュレーションした。シミュレーションでは、メンブレンに設けられる音響ホールとメンブレンのギャップの変化によるダンピング効果及び変換効率の変化を主に調べた。その結果に基づいて、ダンピング効果 …

    IEICE technical report 110(56), 85-89, 2010-05-19

    References (5)

  • Acoustic damping effect on capacitive micromachined ultrasonic transducer

    LEE Seung-Mok , CHA Bu-Sang , OKUYAMA Masanori

    静電型超音波トランスデューサ(CMUT)の変換効率はメンブレンの振動における媒質の機械的抵抗(インピーダンス)の影響を受ける。本研究では、空気中で動作するCMUTデバイスのダンピング効果を有限要素解析法を用いてシミュレーションした。シミュレーションでは、メンブレンに設けられる音響ホールとメンブレンのギャップの変化によるダンピング効果及び変換効率の変化を主に調べた。その結果に基づいて、ダンピング効果 …

    IEICE technical report 110(55), 85-89, 2010-05-19

    References (5)

  • Confirmation of gripping surface status classification using HMM and tactile sensor array  [in Japanese]

    MITO Wataru , YAMAZOE Hirotake , YOSHIDA Shunsuke , TADA Masahiro , SOHGAWA Masayuki , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanor , NOMA Haruo

    我々は,3つのマイクロカンチレバーをエラストマに埋め込んだ構造からなる超小型触覚センサの開発をしてきた.このセンサは圧力とせん断力を同時計測可能で高密度集積が可能であるという特徴を持つ.本稿ではこのセンサを用いたセンサアレイと隠れマルコフモデル(HMM)を用いた機械学習とを組み合わせ,ロボットハンドによる物体の把持状態識別手法として提案している.そして,実験の結果,従来用いられてきた単一のセンサに …

    ITE Technical Report 34.18(0), 39-42, 2010

    J-STAGE  References (4)

  • Fabrication of Multi-axis Tactile Sensor for Future Robots by Using Microelectromechanical Systems  [in Japanese]

    SOHGAWA Masayuki , KANASHIMA Takeshi , YAMASHITA Kaoru , NODA Minoru , OKUYAMA Masanori , NOMA Haruo

    エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作製を行った.Cr/Si二層構造を用いることで,圧力・剪断力双方で変形する傾斜形状のカンチレバーを作製できた.傾斜カンチレバー構造はエラストマー内に破損や変形なしに埋め込むことができ,表面の柔らかい触覚センサを実現できた.対向したカンチレバーの垂直圧力印加に対する出力は同符号となり …

    IEICE technical report 109(157), 41-46, 2009-07-23

    References (9)

  • Reduction of Temperature Coefficient of Resistance of NiCr-Gauge-Thin-Film for Intergraded Tactile Sensor  [in Japanese]

    TACHIBANA H. , KAMANARU S. , MATSUURA H. , SOHGAWA M. , KANASHIMA T. , OKUYAMA M. , YAMASHITA K. , NODA M. , NOMA M.

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2009(16), 97-102, 2009-07-23

    References (5) Cited by (1)

  • Leakage Current Microsensor for Detection of Interaction between Electrolyte-entrapping Liposome and Protein  [in Japanese]

    ARINOBE Yasushi , ASAI Takeshi , YAMASHITA Kaoru , NODA Minoru , SHIMANOUTI Toshinori , UMAKOSHI Horoshi , OKUYAMA Masanori , KUBOI Ryouichi

    電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2009(8), 57-60, 2009-07-23

    References (3) Cited by (1)

  • Improvement of electrical characteristics of HfO_2/Ge MIS structure treated by fluorine gas and nitrogen radical  [in Japanese]

    IMAJO Hideto , LEE Hyun , LEE Dong-Hun , YOSHIOKA Yuichi , KANASHIMA Takeshi , OKUYAMA Masanori

    我々はGe表面へのF_2処理により界面のダングリングボンドを終端することで電気的特性が改善されることを報告したが,ゲート絶縁膜を堆積した後,アニール処理をすることでF_2処理の効果が小さくなるという問題があった.そこで,F_2処理の効果を高めるために,堆積後,窒素ラジカル処理を行った.実験方法は,High-kゲート絶縁膜としてよく用いられているHfO_2薄膜を光MOCVD法により作製した.F_2処 …

    IEICE technical report 109(87), 45-50, 2009-06-12

    References (7)

  • Electrical properties of MFIS structure using Sr_<1-x>Bi_<2+y>Ta_2O_9 thin film  [in Japanese]

    SUGIYAMA Hideki , NODA Minoru , OKUYAMA Masanori

    Pulsefd Laser Deposition (PLD)法によりSr_<1-x>Bi_<2+y>, Ta_2O_9, 膜を作製し、MFIS構造を検討した。Sr_<0.7>Bi_<2.8>Ta_2O_9の場合、SiO_2/Si基板上に基板温度350℃で(105)優先配向膜を得た。SiO_2膜厚を5〜40nmの間で変化させてMFIS構造のC-V特性の …

    IEICE technical report. Electron devices 98(591), 47-53, 2009-02-16

    References (7)

  • 太陽電池の夢を追って  [in Japanese]

    濱川 圭弘 , 桑野 幸徳 , 奥山 雅則 [他] , 小長井 誠 , 中山 喜萬 , 末光 眞希 , 後藤 民浩

    應用物理 78(2), 159-165, 2009-02-10

    Cited by (1)

  • 25pYJ-2 Giant polarization of BiFeO_3 with picometer-controlled lattice  [in Japanese]

    Okuyama Masanori

    Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan 64.2.4(0), 858, 2009

    J-STAGE 

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