井門 修 IDO Osamu

ID:9000002960159

東京農工大学工学部 (1995年 CiNii収録論文より)

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  • Surface Profile Measurement by Optical Heterodyne Interferometry using Acousto-Optic Modulator  [in Japanese]

    OTANI Yukitoshi , ODA Etsuhiro , IDO Osamu , FUJITA Hiroo , YOSHIZAWA Toru

    音響光学素子の高周波側のキャリア周波数と低周波側の変調周波数を同時に制御することによって2ビームを任意に走査することを可能にした.この2ビーム光を用いて光ヘテロダイン法による表面形状計測を試みた.さらに, 回転テープルを利用することによって, 従来, ソマグレン型干渉計においては円周上の一断面のみの測定が可能であったのに対し, 本手法によると表面形状の計測を可能とした.このときの高さ方向の繰返し精 …

    Journal of the Japan Society for Precision Engineering 61(8), 1097-1100, 1995-08-05

    J-STAGE  References (7)

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