小泉 康浩 KOIZUMI Y.

ID:9000003440009

新明和工業(株)開発セ R & D Center,ShinMaywa Industries,Ltd. (1998年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-3 of 3

  • Effect of Substrate Potential on Formation of Thin Films in ECR Plasma  [in Japanese]

    ISHII S. , MORISHITA N. , KATO Y. , SUNAGAWA M. , TANI F. , KOIZUMI Y.

    Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan 53.2.4(0), 931, 1998

    J-STAGE 

  • Development of High Quality Optical Coating  [in Japanese]

    Yoshida K. , Hirao T. , Koizumi Y. , Ochi K. , Kaku S. , Tani F. , Sunagawa M.

    紫外光源は、光メモリ、プリンター、カラーディスプレー、加工、レーザCVD、リソグラフィーなどへの応用において重要となっており、エキシマレーザ、固体レーザからの高調波光、およびエキシマランプが用いられている。これらの紫外光源の中で、半導体レーザ(LD)励起固体レーザを用いた紫外光源の開発は、LDの高出力化、長寿命化に伴って非常に活発になってきた。このLD励起の場合は、高密度励起であるために共振器のレ …

    Proceedings of the IEICE General Conference 1995年.エレクトロニクス(1), 375, 1995-03-27

  • スパッター法による光学薄膜の開発  [in Japanese]

    平尾 哲治 , 小泉 康浩 , 越智 完好 , 角 修吉 , 吉田 國雄 , 谷 二三夫 , 砂川 道夫 , 吉田 英次 , 藤田 尚徳

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 15, 75, 1995-01-01

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