加門 和也 Kamon Kazuya

ID:9000004779546

三菱電機 Mitsubishi Electric Corpration (1994年 CiNii収録論文より)

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  • 3-Dimensional Integrated Process Simulator of Topography and Impurity  [in Japanese]

    Fujinaga Masato , Kunikiyo Tatsuya , Uchida Tetsuya , Kamon Kazuya , Kotani Norihiko , Tsubouchi Natsuro

    3次元形状不純物統合化プロセスシミュレータ3D-MIPSを開発した。3DMIPSは、デポジション,エッチング,光リソグラフィ,BPSGフローの3次元形状シミュレーション部を持ち,それは連続した数十のLSI製造工程を計算することができる。又、拡散と偏折を統一的に扱った新拡散モデルとイオン注入,酸化のモデルを組み込んでいる。シミュレーション例として、新拡散モデルの評価、LOCOS+NMOSトランジスタ …

    IEICE technical report. Electron devices 94(230), 43-50, 1994-09-13

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