井上 広 INOUE Hiromu

ID:9000004909136

(株)東芝生産技術研究所 Toshiba Corp. Manufacturing Eng. Res. Center (1995年 CiNii収録論文より)

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  • Pattern Inspection Algorithm with CAD data Comparison  [in Japanese]

    INOUE Hiromu , OKUDA Kentaro , NOMURA Takehiko , ONO Akira

    半導体、基板の製造工程では、パターン上の形状欠陥を検査して、製品の品質を保証する必要がある。この報告は、パターン上の欠陥を画素サイズの分解能以下で検出する検査アルゴリズムに関するもので、方式とパターン欠陥検査装置に適用した結果を報告する。

    Proceedings of the IEICE General Conference 1995年.情報・システム(2), 247, 1995-03-27

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