VACCARO Pablo O.

ID:9000004964629

ATR適応コミュニケーション研究所 ATR Adaptive Communications Research Laboratories (2003年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-1 of 1

  • Observation of SiGe/Si micro-origami structure fabricated on SOI substrate  [in Japanese]

    SAKANO Yoshihisa , MORI Daisuke , TOKUDA Takashi , OHTA Jun , NUNOSHITA Masahiro , KUBOTA Kazuyoshi , VACCARO Pablo O. , TAMURA Syuichi , WANG Hailong , SAITO Nobuo

    SOI基板上SiGe/Siを用いたマイクロオリガミ構造の作製を行った。SOI基板上に形成したSi/SiGe系歪構造を、SOI基板のBOX層を犠牲層としてリリースすることに成功した。マイクロオリガミ構造におけるヒンジ部の曲率半径は歪に依存し、マイクロオリガミ技術を用いて精密な3次元MEMS構造を作製するには歪量制御が必要となる。本研究では、SiGe層のGe量、膜厚を変化させることで歪量の異なるマイク …

    Technical report of IEICE. SDM 103(533), 57-61, 2003-12-12

    References (12)

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