名井 康人 MYOI Yasuhito

ID:9000004966787

三菱電機(株) 生産技術センター Manufacturing Engineering Center, Mitsubishi Electric Corporation (1995年 CiNii収録論文より)

Search authors sharing the same name

Articles:  1-2 of 2

  • Optical Proximity Correction based on Aerial Image Simulation  [in Japanese]

    NAKAE Akihiro , KAMON Kazuya , HANAWA Tetsuro , NAKAO Shuji , MATSUI Yasuji , MORIIZUMI Kouichi , MITSUDA Hiroshi , MYOUI Yasuto

    近年、デバイスの微細化に伴い、光近接効果による寸法制御性の低下が問題となってきている。これには、L/Sパターンと孤立パターンとの寸法差や、ゲートパターンのショートニングなどが挙げられる。我々は、マスクエッジとマスクエッジ周辺の光強度を利用する新しい光強度分布シミュレーションからの光近接効果補正方法を開発した。本方式ではレジストパターンエッジでの光強度と上記の光強度とが1次関数の関係にあることを利用 …

    Technical report of IEICE. SDM 95(316), 9-15, 1995-10-19

    References (6)

  • Development of Outer Lead Bonding Apparatus with a Focused YAG Laser Beam for Fine Lead Pitch  [in Japanese]

    UCHIYAMA Yoshie , MYOI Yasuhito , TOBUSE Hiroaki , SAKAMOTO Masahiko , IWASA Tatsuya , YOSHIDA Masaharu

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 15, 161, 1995-01-01

Page Top