北野 真史 KITANO Masafumi

ID:9000004970150

東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University (2011年 CiNii収録論文より)

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Articles:  1-4 of 4

  • High Purity Metal Organic Gas Distribution System  [in Japanese]

    YAMASHITA Satoru , ISHII Hidekazu , SHIBA Yoshinobu , KITANO Masafumi , SHIRAI Yasuyuki , SUGAWA Shigetoshi , OHMI Tadahiro

    半導体製造プロセスにおいてプロセスガスの流量制御は基板表面におけるガス組成やチャンバ圧力を決定する重要なファクターである。有機金属(MO)ガスを使用する化合物半導体製造プロセスにおいてもプロセスの信頼性や膜質の向上を実現するためにはMOガスそのものの流量制御を行うシステムを構築することが必要である。そこで、高温に対応した圧力調整式流量制御器(FCS)を開発することによって、蒸気圧を上昇させたMOガ …

    Technical report of IEICE. SDM 111(249), 85-90, 2011-10-13

    References (4)

  • An Approach to Ubiquitous Network Society through the National Project of Large Size Liquid Crystal Display  [in Japanese]

    OHMI Tadahiro , Large Size LCD Project Team , Back Light Project Team , 平山 昌樹 , 白井 泰雪 , 北野 真史 , 廣江 昭彦 , 山下 哲 , 山田 祐一郎 , 石井 裕 , 迫野 郁夫 , 田中 勉 , 萩原 弘道 , 若山 恵英 , 片岡 稔和 , 稲葉 仁 , 福田 宗治 , 木村 純 , 北村 昌幸 , 牛島 満 , 小野里 充 , 楠本 浩之 , 有賀 久 , 藤野 正春 , 山崎 正宏 , 林 昌彦 , 荒川 公平 , 川畑 耕也 , 宮城 孝一 , 村岡 祐介 , 長島 靖 , 山本 真也 , 山本 茂 , 上地 哲男 , 別所 正博 , 戸田 直樹 , 堀内 重治

    まさに人類の長い間の夢であった実物大のカラー高精細の動画像を,音声情報とともに実時間・双方向に,自由自在にやり取りできるユビキタスネットワーク社会の実現に必須の大型液晶ディスプレイを,高価な芸術品から世界中のだれもが買える産業製品に転換する大型国家プロジェクトが4年半にわたって展開され,目覚ましい成果を挙げて終了した.プロジェクトでは広範な技術分野の膨大な量の新産業技術創出のための研究開発が要求さ …

    The Journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 91(4), 316-340, 2008-04-01

    References (19) Cited by (2)

  • Passivation Technology for Aluminum Surface using Anodic Oxidation  [in Japanese]

    KAWASE Yasuhiro , KITANO Masafumi , SAEKI Masayuki , MIZUTANI Fumikazu , SHIRAI Yasuyuki , OHMI Tadahiro

    非水系電解液中にて形成したアルミニウムーマグネシウム合金のバリア型陽極酸化膜は不動態膜として優れた特徴を有している。酸化膜表面のマイクロラフネスは、水溶液系電解液による酸化膜に比べて非常に小さい。また高い温度においても、バリア型陽極酸化膜は熱クラック等を生成せず、酸化膜からのアウトガスとしての放出水分量も非常に少ない。更に陽極酸化膜は、腐蝕性を有するプロセスガスに対しても、顕著な耐蝕性を示す。非水 …

    IEICE technical report 106(277), 81-86, 2006-09-28

    References (7)

  • The Degradation Prevention of Resin Materials for Equipment of Semiconductor and Flat Panel Display  [in Japanese]

    HIDAKA Atsushi , YAMASHITA Satoru , ISHII Hidekazu , KITANO Masafumi , TANAHASHI Naoki , SHIRAI Yasuyuki , OHMI Tadahiro

    汚染源にならない樹脂部材を実現する製造(成型)ガイドラインを確立した。この論文で我々は、高温成型時における樹脂材料の熱分解によって低分子量の揮発性有機汚染物質が生成されるため、樹脂部材中の汚染物質量を低減する目的で樹脂材料の分解挙動に着目した。樹脂材料を分解させない高温成型雰囲気中の酸素濃度は、1ppm 以下にする必要があることを明らかにした。また、樹脂材料との接触表面として次に示す表面材料が熱分 …

    Technical report of IEICE. SDM 104(337), 35-40, 2004-10-15

    References (9)

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