竹内 良昭 TAKEUCHI Yoshiaki

ID:9000006905138

三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット (2011年 CiNii収録論文より)

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  • Development of Large Area VHF Excited P-CVD and its Application to Thin Film Silicon Solar Cells  [in Japanese]

    TAKEUCHI Yoshiaki , MASHIMA Hiroshi , NISHIMIYA Tatsuyuki , OHTSUBO Eiichiro , YAMAUCHI Yasuhiro , TAKATSUKA Hiromu

    電極の両端から供給する超高周波電力の位相を変調する方法により, 世界で初めて60MHzの超高周波で1m^2を超える大面積プラズマ生成に成功した.CVD装置のプラズマ源として薄膜シリコン太陽電池の製造に適用し, 実生産で高い生産性を実証した.これらの結果について紹介する.

    Journal of plasma and fusion research 87(1), 9-13, 2011-01-25

    NDL Digital Collections  References (12) Cited by (1)

  • Characteristics of VHF Plasma Produced by a Balanced Power Feeding Method  [in Japanese]

    MIZUNO Kenta , MATSUOKA Masanori , MUTA Hiroshi , NISHIDA Satoshi , KURIBAYASHI Shizuma , TAKEUCHI Yoshiaki , YAMAUCHI Yasuhiro , TAKATSUKA Hiromu

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2010(48), 29-32, 2010-08-11

    References (8)

  • Using a Supersonic Under-Expanded Jet α/μc-Si:H Deposition by Non-equilibrium VHF Plasma Enhanced CVD  [in Japanese]

    ANDO Daisuke , NAKAMURA Jiro , TSUNEKAWA Yoshihiro , NISHIDA Satoshi , MUTA Hiroshi , KURIBAYASHI Shizuma , TAKEUCHI Yoshiaki , YAMAUCHI Yoshihiro , TAKATSUKA Hiromu

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2010(48), 5-10, 2010-08-11

    References (9)

  • 2614 Mass production start-up actives on high efficiency-micro crystalline tandem solar cells  [in Japanese]

    Yamauchi Yasuhiro , Morii Atsushi , Takastuka Hiromu , Tagashira Kenji , Miyazono Naoyuki , Takeuchi Yoshiaki

    三菱重工で開発した微結晶タンデム太陽電池は世界最大の面積を持つ太陽電池であり、現在販売されているシリコン薄膜太陽電池では最も効率が高いもののひとつである。当社は電池の効率向上だけではなく、生産設備としての生産性を高めることで、生産コストの低減に努め、世界最高レベルのスループットを有するプラズマCVD装置を開発している。本論文では弊社の開発の状況と成果について述べる。

    The proceedings of the JSME annual meeting 2008.3(0), 185-186, 2008

    J-STAGE 

  • OS2-18 Development of high productive PECVD for thin film silicon photovoltaic cells  [in Japanese]

    YAMAUCHI Yasuhiro , TAKATSUKA Hiromu , FUKAGAWA Masayuki , MORI Masashi , TAKEUCHI Yoshiaki , KAWAMURA Keisuke

    In our company, thin film type photovoltaic have been developed as part of development and utilization of the source of clean energy. The high-speed large area plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) t …

    The Proceedings of the National Symposium on Power and Energy Systems 2007.12(0), 353-356, 2007

    J-STAGE 

  • 微結晶タンデム型太陽電池の開発  [in Japanese]

    山内 康弘 , 高塚 汎 , 竹内 良昭 [他]

    Energy 56(266), 46-52, 2006

  • 低コストアモルファスシリコン太陽電池の開発 (特集 技術論文)  [in Japanese]

    竹内 良昭 , 高野 暁己 , 山内 康弘 [他]

    三菱重工技報 37(1), 26-29, 2000-01

    Cited by (1)

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